第84回 半導体・集積回路技術シンポジウム

第84回半導体・集積回路技術シンポジウムが9/15から9/16にかけてバーチャルで開催されます。ここでは最先端の半導体・集積回路技術に関して活発な議論がおこなわれます。東京エレクトロン(TEL) からは、1件の招待講演を予定しています。招待講演のタイトルは、“EUV patterning technology and DSA process introduction”です。ぜひこの機会にご参加ください！