ADMETA Plus Symposium 2020
イベント概要
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開催日
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2020.10.14〜2020.10.14
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開催場所
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オンライン
ADMETAPlus Symposium 2020(Advanced Metallization Conference 2020, Asian Session, Special Symposium)が10/14にオンライン開催されます。今年はチュートリアルと基調講演からなるシンポジウムとなっており、最先端のデバイス技術やプロセス技術などの講演が予定されています。なお、シンポジウムは日本語にておこなわれます。東京エレクトロン(TEL)からは、半導体デバイスの微細化に対する装置メーカーの取り組みついて講演予定です。ぜひこの機会に参加をご検討ください!

装置メーカーからみる技術変化点 "Challenge & Opportunity"
T. Hayakawa (Tokyo Electron Ltd.)