Electronic Specialty Gas Conference 2020

東京エレクトロン（TEL）が協賛するthe Electronic Specialty Gas Conference 2020が10/13から10/15にオンライン開催されます。この国際会議では電子デバイスの製造には必要不可欠な各種ガスとその供給システム関して議論されます。今年で2回目と比較的新しい国際会議ですが、ガスメーカー、関連機器メーカー、エンドユーザーなどが世界各国から参加します。TELからは、最先端半導体製造プロセスのためのガス制御システムに関する発表を予定しています。