CMC Conference 2020
イベント概要
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開催日
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2020.10.21〜2020.10.22
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開催場所
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オンライン
東京エレクトロン(TEL)が協賛するCMC conference 2020が、10/21から10/22にオンライン開催されます。この会議では半導体製造にとって重要な材料技術からそれを取り巻く環境に関するトピックまで、幅広い議論がおこなわれます。また多くの基調講演も予定されています。TELからは半導体の微細化に重要な選択成膜に関する発表を1件予定しています。ぜひご参加ください!

Selective Deposition for Advanced Patterning
K. Tapily (TEL Technology Center, America, LLC)