ISSM 2020
イベント概要
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開催日
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2020.12.15〜2020.02.16
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開催場所
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オンライン
東京エレクトロン（TEL）が協賛するISSM 2020が12/15から12/16にオンライン開催されます。この学会では、製造プロセス技術やモニター技術から機械学習の活用など、半導体製造技術に関する幅広い議論がおこなわれます。TELからは生産性向上に関する発表を予定しています。ぜひお楽しみに！
Best Paper Award受賞!!Seasoning Optimization by using Optical Emission Spectroscopy
M. Shiga*1, Y. Suzuki*2,Y. Fukazawa*2,H.Omine*1,M. Kitsunezuka*1, H. Moki*1, Y. Kataoka*1, T. Matsuzawa*1, T.Makita*2, K. Takasawa*2, T. Yamamoto*2, T. Funakubo*2
*1 Tokyo Electron Ltd.
*2 Tokyo Electron Miyagi Ltd.
