The 8th ICMAP & The 9th ISFM
イベント概要
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開催日
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2021.01.17〜2021.01.20
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開催場所
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韓国 / オンライン
The 8th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP)と The 9th International Symposium on Functional Materials (ISFM)の合同国際会議が1/17から1/20にオンラインとオフラインのハイブリッドにて開催されます！（オフライン会場：韓国）本学会では、半導体デバイスの製造を始めさまざまな分野におけるプラズマ技術と、機能性材料に関する最新の研究報告と議論がおこなわれます。東京エレクトロン（TEL）は招待講演として、プラズマ診断技術について発表予定です。ぜひご参加ください！
InvitedSolutions to the Challenges of Quantitative Neutral Species Measurements in Process Plasmas
J. Zhao*1,C.Schlechte*1, J.Carroll*1, M.Hummel*1, T.Iwao*1, and K. Ishibashi*2
1 Tokyo Electron America, Inc.
2 Tokyo Electron Technology Solutions Ltd.
