ISPlasma2021/IC-PLANTS2021
イベント概要
-
開催日
-
2021.03.07〜2021.03.11
-
開催場所
-
オンライン
-
対象者
-
プロセスエンジニア メカエンジニア
ISPlasma2021/IC-PLANTS2021が3/7-11にオンライン開催されます。ISPlasma/IC-PLANTSはプラズマ科学の最新研究と、プラズマ科学の窒化物半導体およびナノ材料への応用について議論されています。環境問題やバイオセンシング技術への応用についても取り上げられます。東京エレクトロン（TEL）および共同研究者からは弊社エッチング装置のプラズマ技術とそのプラズマ解析結果について報告予定です。
