第68回 応用物理学会 春季学術講演会
イベント概要
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開催日
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2021.03.16〜2021.03.19
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開催場所
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バーチャル
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対象者
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デバイスエンジニア プロセスエンジニア
3/16から3/19にかけて応用物理学会がバーチャルで開催されます。ここでは放射線に関する議論から半導体、バイオエレクトロニクスなど、さまざまな学問分野に関する活発な議論がおこなわれます。東京エレクトロン(TEL) および共同研究者からは、2件の発表を予定しています。ぜひ参加ください！
Machine Learning Approaches Optimizing Semiconductor Manufacturing Processes
T. Moriya
Tokyo Electron Ltd.
Control of a-C:H Film Properties by Tailored Waveform Excited PECVD
R. Iwamoto*1, K. Kamataki*1, N. Itagaki*1, K. Koga*1,2, M. Shiratani*1, T. Shindo*3, S. Tanaka*3, T. Matsudo*3
1.Kyushu Univ.
2.NINS
3.Tokyo Electron Technology Solutions Ltd.
