2021 Virtual MRS Spring Meeting
イベント概要
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開催日
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2021.04.17〜2021.04.23
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開催場所
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オンライン
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対象者
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プロセスエンジニア
2021 Virtual MRS Spring Meeting (Materials Research Society)が4/17から4/23にオンライン開催されます。この会議には材料研究に携わる学生から研究者、企業まで多くのエンジニアが世界中から集まり、最新の研究成果に関して議論されます。東京エレクトロン（TEL）からは近年注目のHfベースの強誘電体薄膜と応用デバイスの現状と展望について報告予定です。
Invited
Status and Outlook for Ferroelectric Hf-Based Films and Devices
R. Clark
TEL Technology Center, America, LLC
