2021 VLSI-TSA

2021 International Symposium on VLSI Technology, Systems and Applications (2021 VLSI-TSA)が4/19-22に台湾で開催され、4/23-5/25にオンデマンド形式で配信されます。VSLI技術、システム、アプリケーションの研究開発・製造にかかわる研究者とエンジニアが世界中から集まり、この分野の最新技術について議論されます。東京エレクトロン（TEL）および共同研究者からは近年注目を集めている強誘電体薄膜および反強誘電体薄膜の概要と最新の研究ついて報告します。