239th ECS Meeting
イベント概要
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開催日
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2021.05.30〜2021.06.03
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開催場所
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オンライン
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対象者
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デバイスエンジニア プロセスエンジニア
第239回ECS Meetingが5/30から6/3にオンライン開催されます。電気化学や固体物理/化学の分野に携わる大学や企業の研究者が集まり、最新の研究成果について議論されます。東京エレクトロン（TEL）からは招待講演2件を含む、全4件の講演を予定しています。ぜひご参加ください！
(Invited)
Electrical Performance Improvement in 300mm Ge-Based Devices
Materials and Process Technologies for Scaling BEOL Interconnect Technology
Plasma Oxygen Interaction with Organic Polymer Films: a Mechanistic Study
