エッチングプロセスエンジニア必見！PlaCEP 2022

極低温エッチング技術の進歩を促進するために、第1回Plasma Cryogenic Etching Processes (PlaCEP)が、5月16～19日にフランスのオルレアンで開催されます。

プラズマエッチング技術の中でも極低温という特徴的な技術について、その分野の第一人者が産学から集まり、最近の研究について議論がされる予定です。最新の実験結果をはじめ、モデリングとシミュレーション、メカニズム解析などさまざまな角度からエッチング技術について議論されます。

東京エレクトロン(TEL)から、招待講演1件を予定しています！