TOKYO ELECTRON LIMITED

科学者・エンジニア必見!The 2022 International Conference on Frontiers of Characterization and Metrology for Nanoelectronics (FCMN)

イベント概要

開催日

2022.06.20〜2022.06.23

開催場所

アメリカ(カリフォルニア州)

対象者

デバイスエンジニア プロセスエンジニア メカエンジニア ソフトエンジニア AIエンジニア データサイエンティスト/アナリティクス その他

国際学会 2022年FCMNは、6月20日から23日まで、カリフォルニア州で開催されます。本学会は、招待講演セッションと寄稿論文のポスターセッションで構成されています。ポスター発表では、ナノスケールまでの材料・構造特性評価/計測の新展開が取り上げられます。東京エレクトロン(TEL)は、データサイエンスを研究開発に生かす取り組みを加速しています。本学会では、「Machine learning-assisted characterization of hafnia-based ferroelectric thin films」と題し、ポスター発表をおこないます。

半導体産業は、想像を超える速さで進化しています。FCMNでは、ナノスケールの奥深くまで拡張する技術と、デバイスやシステムの多様性が高まる中で、ハードウェア、データ解析、AIや機械学習など、重要な材料や構造の特性評価およびニアライン/インライン計測手法について、主要な問題を取り上げ、クリティカルレビューをおこないます。さらに、本学会は、ナノエレクトロニクス材料やデバイスの研究、開発、インテグレーション(統合)、製造に必要な特性評価技術のあらゆる側面に関係する科学者やエンジニアが一堂に会します。化学、物理、電気、磁気、光学、in situ、リアルタイム制御・モニタリングなど、あらゆるアプローチが歓迎されるFCMNに、皆さんぜひご参加ください!

Machine learning-assisted characterization of hafnia-based ferroelectric thin films