デバイスエンジニア、プロセスエンジニア必見！PESM2023

コンセプト：プラズマエッチング

東京エレクトロン（TEL）が協賛するPlasma Etch and Strip in Microtechnology 2023 (PESM)が6/19-20にフランスのグルノーブルで開催されます。PESMは、科学と技術の間のオープンな議論の場を提供することを目的としており、技術的な議論を活性化させるためにエッチングの科学的・技術的リーダーたちによる招待講演がおこなわれる予定です。世界の科学者、プロセスエンジニア、博士課程の学生だけでなく、プラズマ処理、他の真空ベースの除去技術（イオンビーム、中性ビーム、ガス熱エッチングなど）を含むドライエッチングの分野の産業パートナーも参加対象とされています。トピックには、基礎研究および応用研究のハイライトと、製造業への新技術導入に関連する問題の両方が含まれます。TELおよび共同研究者から1件の講演を予定しています。ぜひご期待ください！

当社はこれからもBest Products Best Technical Serviceを常に追求し、半導体の技術革新に貢献し続けます。

Monday, June 19, 2023
Plasma processes for more than Moore applications
11:50
Advanced Etch Technologies for Photonics Waveguide Patterning
Raley Angelique, Tokyo Electron America