TOKYO ELECTRON LIMITED

デバイスエンジニア、プロセスエンジニア、AIエンジニア必見! SSDM 2023

イベント概要

開催日

2023.09.05

対象者

デバイスエンジニア プロセスエンジニア AIエンジニア

コンセプト:半導体(Solid State)デバイス、半導体材料、環境配慮型LSI製造技術、AI技術

応用物理学会が主催するSSDM(Solid State Device and Materials)2023が名古屋国際会議場で、9/5-8に開催されます。SSDMは、日本における伝統ある、物理や半導体デバイスに関する国際学会です。学術界、産業界などの活発な議論を促進するため、12の分野が設定され、広範なトピックを網羅しています。また、産業界、研究界から世界で活躍する有識者による、最先端半導体分野における研究発表に加え、今年は、対面セッション/ミーティングがおこなわれる予定です。TELからはショートコースでの発表を予定しています。ぜひ会場にてご参加ください!

Short Course A: Leading-edge CMOS Technology for 2nm-node and beyond
Date: Tuesday, September 5, 2023
Time: 14:30 – 15:15
“Advanced Technologies for Extending EUV Lithography”
S. Nagahara
Tokyo Electron Ltd.

Short Course B: Plasma technology: Cornerstone of the post-scaling and next milestone of assurance energy and environment
Date: Tuesday, September 5, 2023
Time: 15:30 – 16:15
“Technological direction of high aspect ratio etching for memory devices”
A. Tsuji
Tokyo Electron Ltd.