デバイスエンジニア、プロセスエンジニア必見！ ADMETA Plus 2023
イベント概要
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開催日
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2023.10.11〜2023.10.13
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開催場所
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ハイブリッド開催（オンライン・オンサイト）
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対象者
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デバイスエンジニア プロセスエンジニア
最先端の配線技術全般を扱う学会の１つAdvanced Metallization Conference 2023が、10月11日から13日にハイブリッド開催されます！
多様なデバイス分野において、低抵抗、高集積、高機能、低コスト、高信頼性を実現する配線技術の重要性はますます増しています。これらの要求に応えるべく、配線関連の材料、プロセス、設計、実装、装置、コスト、分析技術などにフォーカスし、さまざまな課題解決に向けて基礎から応用開発まで、産学官の研究者、技術者による総合的な議論がおこなわれます。東京エレクトロン（TEL）は、招待講演を含む、3件の発表をおこないます！
ぜひこの機会にエキスパートとともに学び、半導体業界を探求し、ネットワークを築きましょう！
招待講演
Session 2: Advanced Integration
Advanced Logic Process Technologies toward 2nm and Beyond
T. Yamamoto, Tokyo Electron Ltd.
Poster Session
October 12, 2023 (THU) 18:20-20:00
P-3 Graphene Deposition with High Power Pulsed Sputtering (HPPS) Plasma
Y. Ooishi1, A. Kuwada1, F. Maeda2, M. Shinohara3, S. Tanaka4, T. Matsumoto4
1 Fukuoka University,
2 Fukuoka Institute of Technology
3 Fukuoka University
4 Tokyo Electron Technology Solutions Co. Ltd.
P-4 Direct Deposition of Graphene on Si with High Power Pulsed Sputtering (HPPS) Plasma
Y. Ooishi1, A. Kuwada1, F. Maeda2, M. Shinohara3, S. Tanaka4, T. Matsumoto4
1 Fukuoka University
2 Fukuoka Institute of Technology
3 Fukuoka University
4 Tokyo Electron Technology Solutions Co. Ltd.
