2024 IEEE Symposium on VLSI Technology & Circuits

半導体研究における最高峰の国際会議のひとつ、2024 IEEE Symposium on VLSI Technology & Circuitsが6月16日~20日にハワイ州ホノルルで開催されます！
半導体デバイス技術と回路技術の研究成果報告から構成される同学会は、米国IEEE（Institute of Electrical and Electronics Engineers）のElectron Device SocietyおよびSolid-State Circuits Society, 日本の応用物理学会の共催により、毎年６月に開催されています。

世界トップレベルの半導体エキスパートが集結する本国際学会において、東京エレクトロン(TEL) 技術マーケティング部 角村 貴昭が共同シンポジウム委員長を務めます。また当社の研究論文が採択された他、当社社員がショートコースの講師も務めます。
半導体の技術革新と地球環境保全に貢献する当社の技術発表にぜひご期待ください。

Monday, June 17, 10:30AM
Technology Short Course
Integration Challenges for Pitch Scaling in Advanced BEOL Interconnects
Hirokazu Aizawa
TEL Technology Center, America, LLC

Wednesday, June 19, 2:15PM
Session T6: Memory Technology: NAND, DRAM-1
Up to 57% Reduction in Effective Resistivity of Word Lines of 3D-NAND Memory by Grain-size Control, Material Selection, and Seam Removal
Hiroshi Terada¹, Katsumasa Yamaguchi², Tsubasa Yokoi², Takashi Sameshima², Keisuke Suzuki², Genji Nakamura¹, Hiroyuki Nagai¹
1. Tokyo Electron Ltd., 2. Tokyo Electron Technology Solutions Ltd. © 2024 IEEE [1]
[1] H. Terada, et.al., in Symp. VLSI Tech. & Circ. Dig., 2024, T6.4.