デバイスエンジニア、プロセスエンジニア必見! 2024年 第85回 応用物理学会 秋季学術講演会
イベント概要
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開催日
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2024.09.16〜2024.09.20
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開催場所
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朱鷺メッセほか2会場&オンライン
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対象者
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デバイスエンジニア プロセスエンジニア
応用物理学会 秋季学術講演会が、9月16日から20日に朱鷺メッセほか2会場、およびオンラインで開催されます!本学会は、半導体、光・量子エレクトロニクス、新素材など、それぞれの時代で工学と物理学の接点にある最先端課題、学際的なテーマに次々と取り組みながら活発な学術活動を続けています。
東京エレクトロン(TEL) と福岡大学、福岡工業大学、山梨大学などの共著者から、5件の発表が予定されています。是非ご参加ください!
口頭講演
9/16(Mon.) 9:00 - C31会場 薄膜新材料 / Thin films and New materials
ユニバーサルな機械学習ポテンシャルを用いて作成されたシリコン系低誘電率絶縁膜の評価
野武 晃1, 筒井 拓郎1, 守屋 剛1, 大井川 仁美1, 馮磊1, 倪 澤遠2, 加藤 大輝2, 小川 智久2, 松隈 正明2, 樋口 恒2, 久保 敦史2, 大越 顕2, 松山 洋平2, 村上 博紀2,戸根川 大和2
1.東京エレクトロン(株), 2. 東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ(株)
9/18(Wed.) 14:00 - A37会場
HPPSプラズマによるシリコン基板上への触媒フリー直接グラフェン成長
大石 侑叶1, 篠原 正典2, 前田 文彦3, 松本 貴士4
1.福岡大院工, 2.福岡大工, 3.福工大, 4. 東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ(株)
9/18(Wed.) 17:15 - A31会場
Si3N4およびSiのNF3/SF6誘導結合プラズマ照射によるSelf-limitationエッチングプロセス
小澤 一貴1, 佐藤 哲也1, 清水 昭貴2
1.山梨大工, 2.東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ(株)
9/19(Thu.) 9:15 - A31会場
vdWエピタキシーによるサファイア基板上MoS2の面内配向メカニズム
佐久間 芳樹1, 廣戸 孝信1, 奈良 純1, 小野 佑樹2, 松本 貴士2
1.物材機構, 2.東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ(株)
9/20(Fri.) 13:30 - A21会場
多軌道動的モード分解による高次元力学系の同定
安崎 遼路1, 山田 翔太1, 筒井 拓郎1, 松沢 貴仁1
1.東京エレクトロン