77th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2024)
イベント概要
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開催日
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2024.09.30〜2024.10.04
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開催場所
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San Diego, CA
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対象者
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デバイスエンジニア プロセスエンジニア
第77回Gaseous Electronics Conference（GEC 2024）が9月30日から10月4日まで、カリフォルニア州サンディエゴで開催されます。米国物理学会（APS）の原子・分子・光学物理学部門（DAMOP）が主催するGECは、プラズマ源、診断、シミュレーション、プラズマ化学、基礎現象、原子・分子プロセスに関する基礎科学および基礎科学の貢献を発表してきた長い歴史をもつ国際会議です。近年では、プラズマ・バイオテクノロジー、プラズマ医学、多相プラズマ、環境応用、大気圧プラズマシステムなど、新たな分野の研究発表の場としても注目されています。
プラズマエッチング装置を含む幅広い製品ラインナップを有する東京エレクトロン（TEL）は、3件の招待講演をおこないます！
招待講演
Session ER2: Plasma Etching II
11:30 AM–12:00 PM, Thursday, October 3, 2024
Room: Shutters West I and II
Challenges in Semiconductor Etch Development and Opportunities for Plasma Modeling: An Industrial Perspective
Pingshan Luan, TEL Technology Center, America, LLC
Session EM2: Workshop II: Data-driven Plasma Science
2:30 PM–3:00 PM, Monday, September 30, 2024
Room: Great Room 6-8
Plasma process optimization using machine learning
Tsuyoshi Moriya, Tokyo Electron Technology Solutions Ltd.
Session EM2: Workshop II: Data-driven Plasma Science
4:00 PM–4:30 PM, Monday, September 30, 2024
Room: Great Room 6-8
A Study for Solving the Boltzmann Equation with Variable E/N using Physics-informed Neural Networks
Jinseok Kim1, Kazuki Denpoh1, Satoru Kawaguchi2, Kohki Satoh2, Masaaki Matsukuma1
1,Tokyo Electron Technology Solutions Limited
2,Muroran Institute of Technology
