ADMETA Plus 2024
イベント概要
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開催日
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2024.10.03〜2024.10.04
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開催場所
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東京大学武田ホール / オンライン
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対象者
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デバイスエンジニア プロセスエンジニア
先端ロジック、メモリデバイスの先端配線技術全般を網羅する最も先進的な学会The Advanced Metallization Conference 2024（ADMETA Plus 2024）が、10月3日から4日にかけてハイブリッド・イベントとして開催されます！今年のテーマは、「Interconnection from material to VLSI system for a Sustainable Development 」です。
さまざまなデバイスアプリケーションにおいて、低抵抗、高集積、低コスト、高信頼性、3D-ICを実現するために、相互接続技術の重要性はますます高まっています。この学会では、材料、プロセス、デバイス、回路設計、実装、装置、特性評価に関連する相互接続技術に焦点を当てます。産学官の研究者・技術者が、基礎から応用まで幅広いテーマで総合的な議論をおこないます。東京エレクトロン（TEL）からは、関口フェローの招待講演を含む2件の講演を予定しています！ぜひこの機会にエキスパートとともに学び、半導体業界を探求し、ネットワークを築きましょう！
招待講演
Session 4: Plenary Session-2
October 3 2:05p.m. – 2:45 p.m.
Latest Technology Trends in the Semiconductor Industry
Akihisa Sekiguchi, Fellow, Tokyo Electron Ltd.
Session 8: Reliability & Metrology
16:00 – 16:20
Catalyst-free Direct Growth of Graphene on Si substrate with High Power Pulsed Sputtering (HPPS) Plasma with styrene as source molecules
Yuto Oishi 1, Masanori Shinohara 2, Fumihiko Maeda 3, and Takashi Matsumoto 4
1 Fukuoka Univ.
2 Fukuoka Univ.
3 Fukuoka Institute of Technology
4 Tokyo Electron Technology Solutions Ltd.
