2025年 第72回 応用物理学会 春季学術講演会
イベント概要
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開催日
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2025.03.14〜2025.03.17
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開催場所
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東京理科大学野田キャンパス＆オンライン
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対象者
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デバイスエンジニア プロセスエンジニア
応用物理学における国内最大規模の学術講演会、春季学術講演会が、3月14日から17日に東京理科大学野田キャンパス、およびオンラインで開催されます！
本学会は、半導体、光・量子エレクトロニクス、新素材など、それぞれの時代で工学と物理学の接点にある最先端課題、学際的なテーマに次々と取り組みながら活発な学術活動を続けています。
東京エレクトロンと共著者から、5件の発表が予定されています。ご期待ください！
招待講演
「グリーンファブの未来を拓く：持続可能なものづくりへの挑戦」
3/15(Sat.) 13:30 - Room K206
欧米に見るテクノロジー志向成長戦略とグリーン政策の競合と調和
真白 すぴか
東京エレクトロン
口頭講演
層状物質
3/16(Sun.) 9:15- Room K101
2段階アニールによる4inchウェーハへの高被覆性MoS2の形成
田邉 真一1, 三浦 仁嗣1, 岡田 直也2, 入沢 寿史2, 黄 祐敏1, 藁科 尚士1, 成 浩1, 深澤 篤毅1, 前原 大樹1
1.東京エレクトロン
2.産総研
3/16(Sun.) 9:30- Room K101
2段階アニール法におけるMoS2形成条件の探索
岡田 直也1, 入沢 寿史1, 田邉 真一2, 三浦 仁嗣2, 黄 祐敏2, 藁科 尚士2, 成 浩2, 深澤 篤毅2, 前原 大樹2
1.産総研 SFRC
2.東京エレクトロン
3/16(Sun.) 11:45- Room K101
Microwave PE-CVD による六方晶窒化ホウ素結晶成長におけるプラズマ- 表面反応機構の解明
牟田 幸浩, 杉浦 正仁, 松本 貴士
東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ
X線技術
3/17(Mon.) 9:15 - Room K507
再帰的エネルギー分割Shirley法によるXPSバックグラウンド生成
趙 祥勲, 倪 澤遠
東京エレクトロン
