TOKYO ELECTRON LIMITED

2025 IEEE International Reliability Physics Symposium

イベント概要

開催日

2025.03.30〜2025.04.03

開催場所

Monterey, CA

対象者

デバイスエンジニア プロセスエンジニア

半導体デバイスの信頼性技術に関する世界最大の国際会議「国際信頼性物理シンポジウム(IRPS:IEEE International Reliability Physics Symposium)」が開催されます!

このプレミアカンファレンスでは、半導体デバイスの信頼性を支える研究開発成果が発表されます。半導体製品の寿命を60年以上にわたって技術的に支えてきました。半導体デバイス、集積回路、マイクロエレクトロニクス アッセンブリの信頼性を理解する貴重な機会として、世界中から専門家が集まります。共著者と東京エレクトロンのエキスパートによる発表にもぜひご期待ください!

Modulating competition between defect generation and annihilation in dielectric breakdown showing a full range of reverse, diminishing, and forward area scaling trends

E. Wu1, P. Jamison1, S. Consiglio2,T. Tsunomura3 and T. Ando1
1 IBM Research Division, USA
2 TEL Technology Center, America
3 Tokyo Electron