IITC2025
イベント概要
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開催日
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2025.06.02〜2025.06.05
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開催場所
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Busan, Korea
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対象者
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デバイスエンジニア プロセスエンジニア ソフトエンジニア
東京エレクトロン(TEL)が協賛する2025 IEEE International Interconnect Technology Conference(IITC)が6/2-5に韓国釜山で開催されます。IITCは半導体前工程の配線に関する学会としては最も大きい国際会議です。TELおよび共同研究者から2件の講演を予定しています。ぜひご期待ください！
Tuesday, June 3, 2025
Session 02 : Advanced Interconnects I
"Post-Cu CMP leakage suppression using sequential small molecular inhibitor treatment"
Takumi Nishinobo, Kai-Hung Yu, Ryota Yonezawa, Suzuki Hidenao, Aizawa Hirokazu, TEL Technology Center, America, LLC
Wednesday, June 4, 2025
Poster Session
P14.
“Thermal detection methods for rapid laser process and first reuse of the carrier wafer released by Laser Lift-Off (LLO) process”
Jungrae Park, Joshua Peck, Tushar vijaykumar Meshram, Ilseok Son, Joshua Hooge, Angelique Raley, Yoshihiro Kondo, Sitaram Arkalgud, TEL Technology Center, America, LLC
