有機ELディスプレイ製造用インクジェット描画装置Elius™1000販売開始のお知らせ

　東京エレクトロン (TEL、東京都港区、社長：河合利樹) は、有機ELディスプレイ製造用インクジェット描画装置「Elius™ 1000」の販売を開始したことをお知らせいたします。

　近年、有機ELディスプレイは従来のモバイル市場に留まらず､テレビやモニターなどのディスプレイ市場にも用途が広がりつつあります。このような市場の広がりに対応するため、G4.5 (最大730×920mm) 基板に対応した有機ELディスプレイ製造用インクジェット描画装置「Elius 1000」を新たに開発いたしました。

　「Elius 1000」は有機発光層成膜の際、RGＢ3色の発光材料を同時かつ必要量のみ、画素内へ描画可能なことから、従来の蒸着方式に比べ生産性の大幅な改善が期待できます。また、ディスプレイ解像度についても8KテレビやIT製品など、200ppiを超える高解像度への対応も可能です。お客さまによるディスプレイ開発用途としての運用も想定しており、最大6種類のインク材料を同時搭載可能です。

　TELは大型基板で蓄積した技術をベースに開発した「Elius 2500」の販売を2014年よりおこなっており、G8.5 (最大2200×2500mm) の大型基板に対応した有機ELディスプレイ製造用インクジェット描画装置でも高精細有機ELディスプレイの量産化の実現に貢献します。

　東京エレクトロン FPD BUGM^*1 石田寛は、「Elius 1000は、高解像有機ELディスプレイ向けに開発された装置です。大型有機ELディスプレイ向け装置Elius 2500とともに、当社のインクジェット描画装置は有機ELディスプレイの有機発光層成膜の生産性を大幅に改善することで、引き続きお客さまのニーズに貢献します」と述べています。

　TELは、今後も革新的な技術開発力を生かした高付加価値製品で、市場のニーズに基づく効果的なテクノロジーと最適なソリューションを提供してまいります。

　＊1 BUGM : Business Unit General Manager