有機ELディスプレイ製造用インクジェット描画装置Elius™500 Pro販売開始のお知らせ

　東京エレクトロン（TEL、東京都港区、社長：河合利樹）は、有機ELディスプレイ製造用インクジェット描画装置「Elius™500 Pro」の販売を開始したことをお知らせいたします。

　近年、ディスプレイ市場において､インクジェット方式による有機ELディスプレイの技術開発が進み、製品化に向けた取り組みが一層加速しております。このような市況に対応するため、G2(最大370mm×470mm)基板対応の開発ライン向けの有機ELディスプレイ製造用インクジェット描画装置「Elius500 Pro」を新たに開発いたしました。

　「Elius500 Pro」はお客さまによるディスプレイ開発用途としての運用を想定しており、最大12種類のインク材料を同時に搭載することが可能です。

　また、有機発光層成膜の際、RGB3色の発光材料を同時かつ必要量のみ画素内へ描画可能であり、ディスプレイ解像度については8KテレビやIT製品などを想定した200ppiを超える高解像度への対応も可能です。

　TELは2014年よりG8.5（最大2,200mm×2,500mm）の大型基板に対応した有機ELディスプレイ製造用インクジェット描画装置「Elius2500」の販売をおこなっており、また､2018年よりG4.5（最大730mm×920mm）基板に対応した高精細有機ELディスプレイ製造用のインクジェット描画装置「Elius1000」も販売しております。

　東京エレクトロン FPD BUGM 石田寛は、「Elius500 Proは、高解像有機ELディスプレイの開発に適した装置です。このインクジェット描画装置により、有機ELディスプレイの技術開発の加速、将来の生産性改善に貢献していきます」と述べています。

　TELは、今後も革新的な技術開発力を生かした高付加価値製品で、市場のニーズに基づく効果的なテクノロジーと最適なソリューションを提供してまいります。