枚葉洗浄装置CELLESTA™ SCD 販売開始のお知らせ

　東京エレクトロン (TEL、東京都港区、社長：河合利樹) は、枚葉洗浄装置CELLESTA™ SCDの販売を2021年1月より開始することをお知らせいたします。

　枚葉洗浄装置のCELLESTAシリーズは、半導体製造プロセスの洗浄工程に幅広く採用いただいております。このたびリリースするCELLESTA SCDは、量産実績のあるCELLESTA のプラットフォームに超臨界乾燥専用チャンバーを搭載した装置です。

　洗浄工程における乾燥プロセスでは、従来から表面張力の低いアルコールを用いた乾燥技術が採用されていますが、さらなる微細化、多層化が進む最先端半導体デバイスでは、乾燥プロセスにおけるパターンの倒壊が大きな課題の一つとされてきました。このような技術ニーズに応えるため、このたび、表面張力がゼロになり、パターン倒壊を起こさない超臨界流体を用いた乾燥技術を開発し、量産向け装置として販売開始いたします。

　TELは、飛躍的に向上した洗浄および乾燥技術を搭載したCELLESTA SCDを枚葉洗浄装置のラインアップに加えることにより、半導体製造プロセスにおける高度な技術ニーズに応え、半導体業界のさらなる発展に貢献いたします。

　東京エレクトロン　執行役員 兼 CTSPS BUGM　秋山 啓一は、「CELLESTA SCDは最先端デバイスにおける洗浄後の乾燥プロセスにおける課題に対し、革新的な技術ソリューションを提供します。今後も革新的な技術開発力を生かした高付加価値製品で、最先端デバイスの技術課題に対する最適なソリューションを提案してまいります。」と述べています。

TELは、バーチャル展示会SEMICON Japan 2020 Virtualにおいて、CELLESTA SCDをご紹介します。

ぜひTELのバーチャルブースにお越しください。

期間：2020年12月11日～2021年1月15日

CELLESTAは、東京エレクトロングループの日本およびその他の国における登録商標または商標です。