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2021.03.10

高精細フラットパネルディスプレイ向けプラズマエッチング装置PICP™ Pro販売開始のお知らせ

 東京エレクトロン(TEL、東京都港区、社長:河合利樹)は、第6世代(1500×1850mm)ガラス基板対応プラズマエッチング装置に関し、高精細プロセス向け新チャンバーPICP™* Proを搭載した「Impressio™ 1800 PICP™ Pro」および「Betelex™ 1800 PICP™ Pro」を販売開始することをお知らせします。


 第6世代、スマートフォン向けを中心としたディスプレイにおいては、高精細OLEDの普及が進むと同時に、低消費電力化やユーザーインターフェースの高機能化など、さらなる技術革新が期待されています。これらの技術革新の実現には、高密度な回路パターンが必要とされるため、従来以上に厳格な製造装置の管理が求められています。


 このような市場の要求に応えるため、TELは独自開発のPICP™ 高密度プラズマ源による高精度なエッチング性能に加え、プラズマ空間の生成エリアを制御することが可能な新機能を搭載したPICP Proを開発しました。新機能の搭載により、メンテナンスや歩留まりに影響するパーティクル発生を抑制させることが可能となり、従来のPICPよりランニングコストを削減することが可能です。


 東京エレクトロン FPD BUGM 石田寛は、「多くのお客さまに量産ラインでPICPを使用していただく中、われわれはさまざまな現場の声を聞いてきました。PICP Proは、これらの新たなニーズに応えるべく試行錯誤を重ねて開発された装置です。高度な微細エッチングに加え、より高い歩留りを実現し、最先端ディスプレイ製造に貢献していきます。」と述べています。


TELは今後も市場のニーズに基づく効果的なテクノロジーと革新的なソリューションを提供してまいります。


*PICP:パネル基板上に極めて均一な高密度プラズマを生成するプラズマモジュール


PICP、Impressio、Betelexは、東京エレクトロングループの日本およびその他の国における登録商標または商標です。

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