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2021.08.30

300mm対応 次世代ウェーハプローバPrexa™販売開始のお知らせ

 東京エレクトロン(TEL、東京都港区、社長:河合利樹)は、300mm対応ウェーハプローバPrecioTM シリーズの後継機種として、300mm対応 次世代ウェーハプローバPrexaTMの販売を開始することをお知らせします。

 情報通信技術の推進に伴うアプリケーションの拡大や、社会のデジタルシフトの進展に伴い半導体の需要は拡大しており、半導体製造装置に対する技術要求はますます高まっています。微細化技術に加え3次元積層技術が注目される中、複数・異種デバイスを組み合わせる先端パッケージ技術の進展で、ウェーハテスト工程におけるKGD*確保が重要となっており、ウェーハプローバの高機能化が求められています。

 Prexaは、Precio シリーズの多くの技術を継承するとともに、エラーアシストの削減や自動化機能の拡充など、新たな先進機能と特長を搭載し、従来のPrecioシリーズに比べてより高い生産性を実現するウェーハプローバです。またPrexaプラットフォームでは、昨今、注目を集めているデバイステスト中の温度制御や、メモリ向けのステージ高荷重制御も可能です。

Prexaの機能と特長:

・各種セットアップなどオペレーションの自動化

・最新鋭の光学系を搭載し新アルゴリズムにより、エラーアシスト削減と高精度コンタクトを実現

・プローブカード針先、プローブマークの高速インスペクション機能

・顧客対応力をさらに高めるソフトウエア構造

  東京エレクトロン ATS BUGM 佐藤陽平は、「半導体デバイスの微細化とともに、複数・異種デバイスを集積化する先端パッケージ技術の導入が加速しており、テスト工程におけるウェーハテストの重要性はますます高まっています。Prexaは高い生産性と先進機能を提供し、お客さまのさまざまなニーズに応えてまいります。」と述べています。

 TELは今後も市場のニーズに基づくBest Products、Best Technical Serviceを提供してまいります。

* KGD : Known Good Die。ICパッケージに封止されていないベア・チップ(ベア・ダイ)の状態で、不良品でないことが保証されたものの通称。

PrecioおよびPrexaは、東京エレクトロングループの日本およびその他の国における登録商標または商標です。

製品の購入に関するお問い合わせ先

東京エレクトロン(株)テストシステム部

teltsprexa1@tel.com


メディアからのお問い合わせ先

東京エレクトロン(株)総務部 広報グループ

telpr@tel.com



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