第8世代、フラットパネルディスプレイ向けプラズマエッチング装置PICP™ Pro販売開始のお知らせ

　東京エレクトロン (TEL、東京都港区、社長：河合利樹) は、第8世代*ガラス基板対応プラズマエッチング装置に関し、高精細プロセス向け新チャンバーPICP™ Proを搭載した「Impressio™ 2400 PICP™ Pro」を販売開始することをお知らせします。

　IT製品や大型テレビ向けを中心とした第8世代でのディスプレイ製造においては、広いガラス面積に対して、高密度かつ均一なプラズマを用いたエッチング加工が求められます。OLEDに代表される高精細・高付加価値のディスプレイが大型化し、従来以上にパーティクルなどにおいて厳格な製造装置の管理が求められています。

　このような市場の要求に応えるため、第６世代向けで販売実績があり、歩留まりの向上や量産安定性を実現するプラズマモジュールPICP Proの大型化を実現し、第８世代向けのPICP Proを開発しました。独自開発のPICP 高密度プラズマ源による高精度なエッチング性能に加え、プラズマ空間の生成エリアを制御することが可能な新機能により、メンテナンス周期や歩留まりに影響するパーティクル発生を抑制でき、従来のPICPよりランニングコストを削減することにつながります。

　東京エレクトロンFPD BUGM 石田寛は、「2021年3月にリリースした第６世代向けPICP Proはすでに多くのお客さまから大変ご好評をいただいています。新たなディスプレイへの関心が高まり第8世代向け投資が多くなる中、さらなるお客さまのニーズに応えるべく、第8世代向けPICP Proを開発しました。高度な微細エッチングに加え、より高い歩留りを実現し、最先端ディスプレイ製造に貢献していきます。」と述べています。

　TELは、今後も市場のニーズに基づく効果的なテクノロジーと革新的なソリューションを提供してまいります。

第8世代：2160×2400,　2200×2500,　2250×2610,　2290×2620　（単位：mm）

「Impressio™ 2600 PICP™ Pro」、「Impressio™ 2650 PICP™ Pro」および「Impressio™ 2700 PICP™ Pro」も販売対象となります。

PICP、Impressioは、東京エレクトロングループの日本およびその他の国における登録商標または商標です。