東京エレクトロンとimecが戦略的パートナーシップを延長し、2nm世代以降の開発を推進

東京エレクトロン(TEL、東京都港区、社長：河合利樹)は、ナノエレクトロニクスとデジタル技術の世界的な研究イノベーションハブであるimecとの戦略的パートナーシップ延長に合意しました。新たな5年間の提携開始により、両社は、次世代パターニングや高度なロジックデバイスのプロセス、次世代メモリの開発、さらには3次元実装をはじめとした重要な共同研究を進め、2nm世代以降の半導体の開発を目指しています。

1995年以来、TELとimecは、パターニング、ロジック、メモリ、3次元実装などの分野で提携してきました。両社の長年にわたる協力関係は、High NA EUVリソグラフィ、エッチング、洗浄、成膜などの分野で飛躍的な進化をもたらしました。顕著な成果として挙げられるEUVレジストによる塗布・現像技術の共同開発では、欠陥制御の大幅な改善とそれによるEUV技術を適用したデバイスの量産化において、極めて重要な役割を果たしました。
このような礎のもと、新たなパートナーシップでは、半導体の微細化のさらなる進展を支える装置技術とプロセス技術の共同開発に重点を置きます。両社は、材料システムの最適化と欠陥制御の改善による性能向上に向けて、High NAパターニング技術および次世代CFETデバイスのための先進的な成膜およびエッチング技術の共同開発に取り組んでいきます。また、両社は、環境に配慮した半導体製造プロセスの追求など、未来に向けてサステナビリティへの取り組みを強化していきます。

東京エレクトロン代表取締役社長・CEOの河合利樹は、「半導体研究の世界的リーダーであるimecとのコラボレーションを拡大することができ、大変嬉しく思います。本合意により、当社は先端世代における重要な開発を加速し、技術革新の最前線における当社の地位を確固たるものにしていきます。imecのプロセス最適化およびサステナビリティに関する専門的な知見を活用することで、当社は世界中のお客様が求める性能および環境に対するソリューションを提供できると確信しています。」と述べています。

imecのCEOであるLuc Van den hove氏は、「今回の提携拡大は、半導体のエコシステム全体の利益に寄与する国際的な研究開発パートナーシップの構築に向けたimecの強いコミットメントを示しています。欧州半導体法に基づくナノICパイロットラインをはじめとしたその他の重要な取り組みを推進するにあたり、TELとの連携を深めることで、imecは貴重な知見を蓄積することができます。本パートナーシップは、TELのテクノロジーリーダーシップを強化すると同時に、imecの先端半導体研究における世界的ハブの地位を強固なものとします。そして、将来に向けたイノベーションを推進することで、両社は相互に利益を享受できると考えています。」と述べています。

imecについて
imecはナノエレクトロニクスおよびデジタル技術で世界をリードする研究センターでイノベーションハブです。imecがもつ最先端の研究開発インフラと6,000人以上の専門家およびトップレベルの研究者からなるチームを活用し、先端半導体とシステムのスケーリング、シリコンフォトニクス、人工知能、5G以降の通信とセンシング技術の研究開発をおこない、健康とライフサイエンス、モビリティ、インダストリー4.0、アグロフード、スマートシティ、持続可能エネルギー、教育などのアプリケーション分野でも活躍しています。

imecは、半導体のバリューチェーンにわたって世界の業界リーダー、フランダースを拠点とする国際的なハイテク、製薬、医療、ICT企業、新興企業、そしてアカデミアやナレッジセンターを結びつけています。imecの本部はベルギーのルーベン市にあり、ベルギー全土、オランダ、イギリスとアメリカに研究拠点をもち、3つの大陸にオフィスがあります。2023年度の収益は約9億4,100万ユーロでした。

imecグループは、国内、地域、および国際的な地域にわたり、文字商標、図形商標を組み合わせた登録商標および未登録商標を含むグローバルな商標ポートフォリオを保有しています。商標の正当な使用には、定期的に更新されるIMECブランディング・ガイドラインに従ったIMECとの書面による事前合意が必要です。最新版は、書面による要請があれば入手可能です。

詳細の情報は www.imec-int.comをご覧ください。