TOKYO ELECTRON LIMITED

Waveguide for AR glasses

SRG (Surface Relief Grating) Waveguide

SRG導波路とは、導波路の表面にグレーティングと呼ばれる微細な凹凸構造を作りこむことで、光の方向をコントロールするものである。
ARグラス用途には入射結合グレーティング、拡大グレーティング、出力結合グレーティングの3種類のグレーティングで構成されるのが一般的である。
いずれのグレーティングにおいても、高屈折率ガラスや樹脂などの基板上に、さらに屈折率の高い材料を成膜し加工することで、各グレーティングに機能を持たせARグラスに適した特性を持たせることができる。

成膜する高屈折率材料としてはTiO2などが使われ、加工形状としてはLine & SpaceやStaircase形状などがある。
また、基板としてさらに屈折率の高いSiCを採用し、SiC基板そのものを加工した構造の製品もハイエンド品として開発されている。
SRG (Surface Relief Grating) Waveguide

ガラス基板上のTiO2のLine & Space gratings

  • デューティ比可変の高屈折率グレーティング

ガラス基板上のTiO2のStaircase gratings

  • 高屈折率階段状グレーティング