SEMICON Europa 2024
イベント概要
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開催日
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2024.11.12〜2024.11.15
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開催場所
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ミュンヘン | ドイツ
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対象者
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デバイスエンジニア プロセスエンジニア メカエンジニア ソフトエンジニア AIエンジニア データサイエンティスト/アナリティクス その他
東京エレクトロン（TEL）がプラチナスポンサーとして協賛するSEMICON Europa 2024が11月12日から15日にドイツのミュンヘンで開催されます！TELは、Fab Management Forumにて「Increasing Sustainability and Efficiency in Furnace Deposition Processes」と題したプレゼンテーションをおこないます！
TELは半導体製造装置のグローバルリーディングカンパニーとして、最先端の技術と確かなサービスで、夢のある社会の発展に貢献することを追求しています。半導体が社会インフラの重要な一部になりつつある中、私たちは温室効果ガスの実質排出量をゼロにする「ネットゼロ」を設定し、2040年までにスコープ1、2、3において実現できるよう、取り組みをさらに充実させ、加速させています。プレゼンテーションでは、TELの環境目標についての議論に加え、ポリシリコン(多結晶シリコン)薄膜の成膜に使用されているLP-CVD装置のF2(フッ素)消費を削減する例を示しつつ、プロセス自体の効率向上についても説明します。
SEMICON Europa 2024にぜひご来場ください！
Fab Management Forum (FMF)
Wednesday, November 13 | 12:25 pm
ICM Munich, Room 14c
Title: Increasing Sustainability and Efficiency in Furnace Deposition Processes
