東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ新開発棟竣工のお知らせ

　東京エレクトロン (TEL、東京都港区、社長：河合利樹) は、開発・製造子会社である東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ穂坂事業所 (山梨県韮崎市)に建設していた新開発棟が完成し、本日、竣工式をおこないましたことをお知らせいたします。

　今後、デジタル社会への移行による技術革新に伴い、半導体市場は大きく成長することが予想されています。東京エレクトロンテクノロジーソリューションズが開発・製造している製品群は、半導体の線幅がより小さく、また多様化、複雑化する中で、技術革新の要として繰り返しおこなわれるパターニング技術^*の進化とともに、大きな成長が見込まれています。新開発棟の竣工により技術開発力をさらに強化し、市場とお客さまの求める機能を備えた製品をタイムリーに提供することを通じて、中長期における持続的な成長と社会の発展に貢献します。

　当社はこれからもBest Products、Best Technical Serviceを常に追求し、お客さまとともにデジタル化と脱炭素化の両立に不可欠な半導体の技術革新を追求してまいります。また、本年、創立60周年を迎えるにあたり、この節目を「新たな出発点」と捉え、さらなる挑戦と進化を続け、夢のある社会の発展に貢献してまいります。

^{*TELは成膜、塗布・現像、エッチング、洗浄というパターニングの連続した4つのキープロセスに製品をもつ、世界で唯一の半導体製造装置メーカーです。}

＜新開発棟の概要＞
所在地：山梨県韮崎市穂坂町三ツ沢650　
延床面積：約21,000m²
構造：鉄骨造/免震構造
階数：地上4階、地下1階
着工/完成：2021年12月/2023年6月　
用途：成膜装置、ガスケミカルエッチング装置など半導体製造装置、パターニング技術およびプロセスインテグレーションの開発

＜東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ事業概要について＞
本社 (藤井事業所) ：山梨県韮崎市藤井町北下条2381-1
事業所：穂坂、東北、府中、名古屋サテライト
事業内容：熱処理成膜装置、枚葉成膜装置、ガスケミカルエッチング装置、テストシステム、FPDプラズマエッチング/アッシング装置の開発・製造