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*2010年～2016年はIRニュースのみ掲載しています。
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#経営

国内外の当社グループ役職員に対する株式交付制度の継続に関するお知らせ

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#決算・財務

業績予想及び配当予想の修正に関するお知らせ

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#決算・財務

2025年3月期 第1四半期決算発表

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#その他

EUV露光による極微細パターニング工程向けガスクラスタービーム装置Acrevia™ 販売開始のお知らせ

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#その他

枚葉成膜装置Episode™ 1、Episode™ 2 DMRの販売開始とEpisode™ 2 QMRリリース予定のお知らせ

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#経営

自己株式の取得状況および取得終了に関するお知らせ

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#経営

新株予約権 (株式報酬型ストックオプション) の内容確定に関するお知らせ

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#経営

新株予約権（株式報酬型ストックオプション）の割当に関するお知らせ

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#経営

自己株式の取得状況に関するお知らせ

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#経営

当社取締役会の実効性に関する評価結果の概要について

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#組織・人事

組織変更および人事異動に関するお知らせ

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#その他

Institutional Investor誌の「All-Japan Executive Team Ranking」(ベストIR企業ランキング) の「Most Honored Company」に9年連続で選定

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#経営

自己株式の取得に係る事項の決定に関するお知らせ

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#経営

株式報酬として新株予約権を発行する件

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#決算・財務

剰余金の配当（2024年3月期期末配当）に関するお知らせ

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#決算・財務

2024年3月期 決算発表

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「SX銘柄 2024」に選定

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#組織・人事

役員人事内定に関するお知らせ

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#組織・人事

人事異動に関するお知らせ

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「第3回日経統合報告書アワード」において「優秀賞」を受賞

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