300mmパワーデバイス向けエッチング装置Tactras™-UDEMAE™ 販売開始のお知らせ | ニュースルーム

東京エレクトロン (TEL、東京都港区、社長：河合利樹) は、300mmパワーデバイス向けエッチング装置Tactras™-UDEMAE™の販売を開始することをお知らせします。

　Tactras-UDEMAEは、200mmウェーハ市場で業界最大の納入実績を誇る当社のパワーデバイス製造向けプラズマリアクター*を、300mmウェーハ向けに拡張し、300mmウェーハプロセスで高い信頼性と高生産性で実績のあるプラットフォームTactrasに搭載したプラズマエッチング装置です。200mmウェーハで培ったプロセスライブラリを300mmウェーハでも活用できることを基本とし、さらにディスクリートパワーデバイスの製造には欠かせない、ウェーハベベル部からの発塵対策機能を新たに備えました。ウェーハの温度、リアクター内の圧力、ガスの流量、RF (Radio Frequency、高周波電源) など、さまざまな条件のバランスをコントロールすることにより、300mmウェーハでも均一なエッチングが可能になりました。

　東京エレクトロン執行役員兼 FS BUGM 中原哲也は、「車載向けなど、汎用半導体の需要の増加を背景に、パワー半導体、ディスクリート半導体向けの製造装置需要は高まっています。なかでも、生産性向上に寄与するエッチング技術の重要性は、この領域においてもますます高まっています。多くの納入実績があるTactrasは搬送速度、フットプリントが世界最高水準を達成しており、そのプラットフォームに新たに開発した300mmパワーデバイス向けプラズマリアクターを搭載することで、大きな生産性向上に貢献する技術ソリューションの提供が可能となります。これからも、お客さまのニーズに貢献する技術ソリューションの開発・提供に努めてまいります。」と述べています。

プラズマリアクター：生成させたプラズマの特性を用いてエッチングなどをおこなう反応室もしくは装置。