第8.7世代フラットパネルディスプレイ向けプラズマエッチング装置PICP™ EX PlusおよびAPX販売開始のお知らせ

　東京エレクトロン(TEL、東京都港区、社長：河合利樹)は、第8.7世代^*1ガラス基板対応プラズマエッチング装置に関し、高精細プロセス向け新チャンバーPICP EX Plus を搭載した「Betelex™2700 PICP™ EX Plus」を販売開始することをお知らせします。また、あわせてコロージョン^*2抑制プロセスユニット APXを販売開始いたします。

　IT製品用有機EL向けを中心とした第8.7世代でのディスプレイ製造においては、高精細・高付加価値・大面積ディスプレイを実現させるため、広いガラス面積に対して、従来以上に高均一性・高選択性のエッチングが必要になるとともにコロージョン抑制、パーティクル対策などにおいても厳格な製造管理が求められています。

　このような市場の要求に応えるため、第8.7世代向けプラズマモジュールPICP EX Plusを開発しました。独自のPICP 高密度プラズマ源による高いエッチング性能に加え、分布制御性・温度制御性などにおいてさらなる性能向上を追求することで、より多様なデバイス構造への対応、量産安定性や歩留まりの向上、ランニングコスト低減を実現します。また、新たに開発したAPXは独自手法により高いコロージョン抑制を可能とする専用モジュールであり、さらなる歩留まり向上、ランニングコスト低減、優れた環境性能などでお客さまの生産性向上に寄与します。

　東京エレクトロンDSS BU 帰山 武郎（Display担当）GMは、「新たなディスプレイへの関心が高まる中、次世代技術を見据えたお客さまからの要求に応えるべく、PICP EX PlusとAPXを開発いたしました。高度なエッチング性能に加えて高い量産安定性と歩留まりを実現し最先端ディスプレイ製造に貢献していきます。」と述べています。

PICPおよび Betelexは、東京エレクトロングループの日本およびその他の国における登録商標または商標です。

*1　第8.7世代：2290mm x 2620mmのガラス基板サイズ
*2　コロージョン：アルミニウムのエッチング処理後において、残留したエッチングガスの影響により、アルミニウムの腐食が発生する。