CLEAN TRACK™ ACT™ シリーズは、業界スタンダード装置の礎となったCLEAN TRACK™ MARKシリーズで培った技術と実績をもとに、300/200mmウェーハ対応塗布現像装置として開発されました。 微細化プロセス対応、高スループット、省フットプリント、アップタイム向上をメインコンセプトとしています。 またこれらの技術はフォトリソグラフィのみならず、マスクプロセス、低誘電率絶縁膜(Low-k dielectrics)にも適用し、その高い完成度と信頼性は業界スタンダード装置として今もなお客さまの生産に貢献し続けています。