洗浄 NSシリーズ

NS300Zは、TELが提供するNS300+ HTで信頼性と安定性の実績があるプロセスモジュールを搭載し、さらなる高生産性を達成すべく開発された300mmウェーハ対応スクラバー洗浄装置です。最大8つのスピンモジュールの搭載が可能な本装置は、毎時最大1000枚（従来機比200%）というスループットを達成すると同時に、次世代デバイス洗浄向けの搬送機能により、生産性を低下させることなく、次世代デバイス洗浄における課題のひとつであるウェーハ間のコンタミネーションを防止することが可能となります。
高い実績を誇る従来機で培った2流体スプレー（AS2：Atomized Spray2）とブラシ技術を改善することにより、次世代デバイス製造においても、生産性の高いさまざまなスクラバー洗浄プロセスを実現しています。

NS300Zのスループット

NS300Zのエネルギー削減

NS300+ 200mm Conversionは、TELが提供するNS300+ HTで信頼性と安定性の実績があるプロセスモジュールを搭載し、300mm次世代デバイス向け洗浄プロセス技術が盛り込まれた、200mm/150mm対応のスクラバー洗浄装置です。最大８つのスピンモジュールの搭載が可能な本装置は、毎時最大500枚（従来機比340%）というスループットを達成すると同時に、さまざまな種類のウェーハを高い信頼性で搬送し高い生産性を実現しています。
フルレシピコントロールの２流体スプレー（AS2：Atomized Spray２）とブラシ技術により、安定性、信頼性への技術要求がさらに高まるレガシーノードのデバイスに対し、高いスクラバー洗浄、かつ時短プロセスを実現しています。

洗浄時間（Recipe time）とスループット (wph) の推移

NS300+ HTは、従来機NS300+のコンセプトである優れた信頼性と安定性を継承し、さらなる高生産性を達成するべく改良されたスクラバー洗浄装置です。従来機と同じく最大8スピンモジュールを搭載した本装置は最大毎時500枚（従来機比150%以上）のスループットを達成すると同時に、従来機と同サイズのフットプリント実現に成功しました。

NS300は300mmウェーハプロセス対応のスクラバー装置です。ウェーハ表面および裏面洗浄が可能で、長年の実績で培った高い信頼性を誇ります。洗浄方法はブラシ洗浄と2流体スプレーAS2洗浄が可能で、併用することでさらなるダメージの低減を実現します。