製品の安全性向上

本質安全設計

東京エレクトロンは開発段階から製品のライフサイクルを考慮してリスクアセスメントを行い、その結果に基づいて本質安全設計*1 を行うことで、装置が人に危害を及ぼすリスクの低減を図っています。また、厳しさを増す法規制に対してグローバルに調査を行い、法への適合を進めるとともに、装置納入先の地域の安全規制に対応する体制を整えています。
当社から出荷する装置は、国際的な安全規格やSEMI S2*2 への適合に関して、第三者検査機関による確認を行っています。また、CE マーキング*3 に対しては、機械指令ならびにEMC 指令*4 に関して、欧州認証機関(Notified Body)の適合証明書(CoC:Certificate of Conformity)を取得しています。

*1 本質安全設計: 機械の設計を工夫することにより、機械が人に危害を及ぼす原因そのものを取り除くこと
*2 SEMI S2: 「半導体製造装置の環境,健康,安全に関するガイドライン」。欧米の有力半導体デバイスメーカーを中心にIC のみならず、世界中で電気電子デバイス製造装置の購入安全仕様として採用されている装置安全設計に関するガイドライン
*3 CE マーキング: 欧州EU圏に製品を輸出する際にはEUが定めたルール(指令)に従い、その製品が安全であることを確認し、その証としてCEマークを表示することが定められている
*4 EMC指令: “ニューアプローチ指令”の一つであり、EU域内の27の加盟国の中で適用されます。この指令は電磁波干渉によって引き起こされる危険や装置の障害を引き起こす可能性のあるすべての電子・電気機器に適用されます。現在適用される指令は2014/30/EU となります

装置に関する安全教育

装置の設計・開発段階から、国際的な安全規格やガイドラインに適合させることが近年ますます重要となっています。当社では、このような装置の安全設計に関わる知識をエンジニアが学べるよう、2007年度よりウェブ教育を展開してきました。この教育は、装置安全設計のためのリスクアセスメントや事故事例を通して、装置設計に必要とされる安全の基礎知識を習得することを目的としています。2015年度にはこれまでの教育内容を見直し、新しい安全規格などの情報を含めた内容に改訂しました。設計者だけではなく、製造やスタートアップ、サービス、移動時の物流など、装置に関わるすべての従業員が装置安全の視点から各実務に活用し、より安全な装置の開発につながるよう教育を推進しています。2016年度からは、社外の専門家による講義やトレーニングを実施しています。