エッチング Episode™ ULシリーズ
2020年発売 業界最大12チャンバーのフレキシブルな選択が可能
Episode™ UL シリーズは、最大12のフレキシブルなチャンバー数の選択を可能とし、省スペース化、メンテナンス性向上、およびTEL独自のSmart Tool機能を備え、お客さまの生産性向上を実現します。プロセスパフォーマンスと高生産性を両立し、多機能化および加速するデバイス進化を後押しします。
Episode™ UL は、フレキシブルなチャンバー数の選択を可能とし、省スペース化、メンテナンス性向上、およびSmart化を備えた、お客さまの生産性向上に貢献するプラットフォームです。
TELは省スペースを追求したチャンバーの水平対向設計における先駆者ですが、Episode™ UL はお客さまのFabレイアウトへの柔軟な対応を実現するため、4チャンバーから12チャンバーまでフレキシブルに搭載チャンバー数を選択することが可能です。また、最大搭載チャンバー数を12個まで増やした場合でも、水平対向設計により、クリーンルームエリア、用力エリアの両方で単位チャンバー当たりのフットプリントを大幅に削減することが可能です。さらに従来品よりワークスペースを広げることにより、メンテナンス性も向上しています。また、搬送系やプロセスモジュールに複数のセンサーや高速制御システムを搭載することで、装置の稼動やプロセス状況をモニタリングするTEL独自のSmart Tool機能を使用したビッグデータ解析による、自律プロセス制御が可能です。
Episode™ UL は、最新のロジックおよびメモリーデバイスの進化を後押しする、より高いプロセスパフォーマンスと拡張性を提供します。
Episode ULの紹介動画もぜひ併せてご覧ください。
URL: https://youtu.be/wHeXV70whAs
フレキシブルなチャンバー数の選択が可能
省スペースを追求
Smart Tool機能を使用
シリーズの比較
Wafer size (mm) |
300 | 300 | 300 |
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Availability | New | New | New |
Number of chambers | 1-12 | 1-6 | 1-6 |
Application | Dielectric, Conductor, Reactive Ion Etch |
Dielectric, Conductor, Reactive Ion Etch |
Dielectric, Chemical Dry Etch |
Substrates | Si | Si | Si |
Safety | S2, CE | S2, CE | S2, CE |
Episode、Tactras、CertasおよびCertas LEAGAは、東京エレクトロングループの日本およびその他の国における登録商標または商標です。