TOKYO ELECTRON LIMITED

エッチング Episode™ ULシリーズ

2020年発売 業界最大12チャンバーのフレキシブルな選択が可能

Episode™ UL シリーズは、最大12のフレキシブルなチャンバー数の選択を可能とし、省スペース化、メンテナンス性向上、およびTEL独自のSmart Tool機能を備え、お客さまの生産性向上を実現します。プロセスパフォーマンスと高生産性を両立し、多機能化および加速するデバイス進化を後押しします。

Episode™ UL

Episode™ UL は、フレキシブルなチャンバー数の選択を可能とし、省スペース化、メンテナンス性向上、およびSmart化を備えた、お客さまの生産性向上に貢献するプラットフォームです。
TELは省スペースを追求したチャンバーの水平対向設計における先駆者ですが、Episode™ UL はお客さまのFabレイアウトへの柔軟な対応を実現するため、4チャンバーから12チャンバーまでフレキシブルに搭載チャンバー数を選択することが可能です。また、最大搭載チャンバー数を12個まで増やした場合でも、水平対向設計により、クリーンルームエリア、用力エリアの両方で単位チャンバー当たりのフットプリントを大幅に削減することが可能です。さらに従来品よりワークスペースを広げることにより、メンテナンス性も向上しています。また、搬送系やプロセスモジュールに複数のセンサーや高速制御システムを搭載することで、装置の稼動やプロセス状況をモニタリングするTEL独自のSmart Tool機能を使用したビッグデータ解析による、自律プロセス制御が可能です。
Episode™ UL は、最新のロジックおよびメモリーデバイスの進化を後押しする、より高いプロセスパフォーマンスと拡張性を提供します。

Episode ULの紹介動画もぜひ併せてご覧ください。
URL: https://youtu.be/wHeXV70whAs

フレキシブルなチャンバー数の選択が可能

フレキシブルなチャンバー数の選択が可能

省スペースを追求

省スペースを追求

Smart Tool機能を使用

Smart Tool機能を使用

シリーズの比較

 
Episode™ UL
Episode™ UL
Tactras™
Tactras™
Certas™ LEAGA™
Certas™ LEAGA™
Wafer size
(mm)
300 300 300
Availability New New New
Number of chambers 1-12 1-6 1-6
Application Dielectric, Conductor,
Reactive Ion Etch
Dielectric, Conductor,
Reactive Ion Etch
Dielectric,
Chemical Dry Etch
Substrates Si Si Si
Safety S2, CE S2, CE S2, CE

Episode、Tactras、CertasおよびCertas LEAGAは、東京エレクトロン株式会社の日本およびその他の国における登録商標または商標です。