エッチング装置 Episode™ ULシリーズ

2020年発売 業界最大12チャンバーのフレキシブルな選択が可能

Episode™ UL シリーズは、最大12のフレキシブルなチャンバー数の選択を可能とし、省スペース化、メンテナンス性向上、およびTEL独自のSmart Tool機能を備え、お客さまの生産性向上を実現します。プロセスパフォーマンスと高生産性を両立し、多機能化および加速するデバイス進化を後押しします。

Episode™ UL

Episode™ UL は、フレキシブルなチャンバー数の選択を可能とし、省スペース化、メンテナンス性向上、およびSmart化を備えた、お客さまの生産性向上に貢献するプラットフォームです。
TELは省スペースを追求したチャンバーの水平対向設計における先駆者ですが、Episode™ UL はお客さまのFabレイアウトへの柔軟な対応を実現するため、4チャンバーから12チャンバーまでフレキシブルに搭載チャンバー数を選択することが可能です。また、最大搭載チャンバー数を12個まで増やした場合でも、水平対向設計により、クリーンルームエリア、用力エリアの両方で単位チャンバー当たりのフットプリントを大幅に削減することが可能です。さらに従来品よりワークスペースを広げることにより、メンテナンス性も向上しています。また、搬送系やプロセスモジュールに複数のセンサーや高速制御システムを搭載することで、装置の稼動やプロセス状況をモニタリングするTEL独自のSmart Tool機能を使用したビッグデータ解析による、自律プロセス制御が可能です。
Episode™ UL は、最新のロジックおよびメモリーデバイスの進化を後押しする、より高いプロセスパフォーマンスと拡張性を提供します。

Episode ULの紹介動画もぜひ併せてご覧ください。
URL: https://youtu.be/wHeXV70whAs

  • フレキシブルなチャンバー数の選択が可能

  • 省スペースを追求

  • Smart Tool機能を使用

シリーズの比較

EpisodeUL.jpgpro-tham-pc_82.jpg
Episode™ ULTactras™Certas™ LEAGA™
Wafer size (mm)300300300
AvailabilityNewNewNew
Number of chambers1-121-61-6
Application

Dielectric, Conductor,

Reactive Ion Etch

Dielectric, Conductor,

Reactive Ion Etch

Dielectric,

Chemical Dry Etch

SubstratesSiSiSi
SafetyS2, CES2, CES2, CE