エンジニアリングサービス

東京エレクトロンは、世界中のお客様に満足いただける装置サポートの提供に努めています。また、時代の変化やお客様のニーズの多様化を先取りし、グローバルにサポートを提供できる体制を整えております。

TEL Service Advantage

当社のグローバルなサポート体制として構築されたTEL Service Advantageでは、お客様のご要望に適したサービスプランをお選びいただけます。また、お客様のご要望や技術的な進歩に対して迅速に対応できる体制になっています。

TEL Service Advantageは、お客様の装置メンテナンスの効率化、および当社製造装置の生産性を最大限に引き出す様々なサポートプランをご提供します。またTEL Service Advantageのサポートプランは、お客様のご要望に合わせて組み合わせることが可能で、最大限の効果を得ることができます。

TEL Field Service

お客様のご要望・目的に合ったエンジニアリングサポートをご提供します。

Field Engineer常駐サポート: お客様の工場に弊社Engineerが常駐しサポートするサービスです。
Bank of Hours: TEL Field Engineerの対応時間を事前に優先確保するサービスです。
PMサポート: 装置の定期メンテナンス（PM）をTEL Engineerが実施するサービスです。
電話サポート: 弊社スペシャリストが電話対応で遠隔サポートするサービスです。
TELeMetrics™と組み合わせることでオンサイトと同等のサポートが提供可能です。