Researchand Development

研究・開発

東京エレクトロンの研究開発

東京エレクトロンは、多様化し、複雑化する半導体とFPDプロセス・装置技術において、継続的に価値を創造するため
限界に挑戦しブレイクスルーを起こす革新的な研究・開発を行っています

研究開発拠点

日本国内の主要開発拠点を中心に、ワールドワイドの研究・開発拠点、
コンソーシアム、研究機関との連携によりイノベーションを創出し続けます

技術コラム

  • 技術開発ハイライト

    VOL.2 EUVリソグラフィ ~次世代半導体微細加工を支える技術

    EUV(Extreme Ultraviolet、極端紫外線)と呼ばれる13.5nmの非常に短い波長...

  • イノベーション

    Silicon Engineering a Social World, ISSCC2018

    今回の話題は2/11から2/15までサンフランシスコで開催されたISSCC2018(Interna...