Researchand Development

研究・開発

東京エレクトロンの研究開発

東京エレクトロンは、多様化し、複雑化する半導体とFPDプロセス・装置技術において、継続的に価値を創造するため
限界に挑戦しブレイクスルーを起こす革新的な研究・開発を行っています

研究開発拠点

日本国内の主要開発拠点を中心に、ワールドワイドの研究・開発拠点、
コンソーシアム、研究機関との連携によりイノベーションを創出し続けます

技術コラム

  • 技術開発ハイライト

    VOL.4 歩留まり向上技術　装置内におけるナノサイズのパーティクル発生との闘い

    現在の半導体回路の加工サイズは数ナノメートルから数10ナノメートル程度です。半導体製造装置内で、半...

  • 学会発表

    2019 Symposia on VLSI Technology and Circuits

    Symposia on VLSI Technology and Circuits(VLSIシンポジ...

オープンイノベーション

  • TELベンチャーキャピタル

    革新技術を持つ
    ベンチャー企業への投資

  • 共同研究公募制度

    TELの未来につながる共同研究テーマを広く募集します

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