2001.02.06

ティンバー・テクノロジーズ社買収について

 東京エレクトロン株式会社(東京都港区、社長:東 哲郎)は、ティンバー・テクノロジーズ社(Timbre Technologies, Inc.、カリフォルニア州フリーモント、CEO & Chairman: Alan Nolet/アラン・ノレット、以下TTI社)を買収することで合意に達しましたのでお知らせ致します。

 デジタル情報家電や、携帯情報端末の広汎な普及によって、半導体デバイスの多様化、微細化、高速化は一層推進され、先端デバイス製造に求められる技術も、より高度かつ複雑なものとなっております。TTI社は、100nm以下の微細な半導体回路パターンの製造に不可欠な、最先端の計測ソフトウェア技術を開発しており、当社の幅広い製品群とワールドワイドのサポート体制、およびTTI社の技術を融合することにより、半導体製造プロセスにおける多様な顧客ニーズに対応する、プロセス・コントロール技術を提供することが可能になります。

 なお、ティンバー社の画期的なオプティカル・デジタル・プロファイル(ODP:Optical Digital Profile)技術は、微細線幅測定、断面プロファイル、膜厚測定の3つの測定を同時に行うもので、デバイスの詳細な断面構造測定を高精度かつ瞬時に行うことを可能にします。従来からのSEM測定技術に加え、ODPは130nmプロセス以降の分野で不可欠な測定技術となります。

 当社は、TTI社の技術を取得することにより、今後市場において求められる、更に高度なプロセス・コントロールと歩留り管理を当社製品において実現します。

以上