学会発表

次世代リソグラフィワークショップ2021が7/8から7/9にオンライン開催されます。このワークショップでは、微細化に重要なリソグラフィ技術に関係する装置、プロセスから材料まで幅広い分野に関する研究発表...

東京エレクトロン（TEL）が協賛する2021 IEEE International Interconnect Technology Conference(IITC)が7/6から7/9にオンライン開催さ...

ALD/ALE 2021が6/27から6/30にバーチャルで開催されます。半導体デバイスの微細化に重要な技術である、原子層堆積法(ALD)と原子層エッチング法(ALE)に関する最新の研究発表がおこなわ...

東京エレクトロン(TEL)が協賛するLeti Innovation Daysが6/22から6/23にオンライン開催されます。 今年のテーマは「hardware is back」です。半導体関連企業、団...

国際フォトポリマーコンファレンスが6/15から6/16にバーチャル開催されます。日本を始め世界中から研究者、技術者が集まり、フォトポリマーに関する基礎研究から応用技術までが議論されます。東京エレクトロ...