学会発表

SPIE Advanced Lithographが2/22から2/26にオンライン開催されます。微細化に重要なEUVリソグラフィ、計測技術、プロセスインテグレーションなどパターニング技術にフォーカスし...

SEMIが主催するTechnology Unites Global Summitが2/15-19にデジタルイベントとして開催されます。マイクロエレクトロニクスのサプライチェーン、メーカー、エンドユーザ...

シリコン材料・デバイス研究会の2月研究会が2/5にオンライン開催されます。今回の研究会のテーマは「配線・実装技術と関連材料技術」です。東京エレクトロン（TEL）からは半導体の微細化に必要な配線技術につ...

東京エレクトロンがスペシャルスポンサーとして協賛するSEMICON Korea 2021 Virtual Conferenceが2/3から2/12に開催されます。韓国半導体メーカーをはじめ世界各国から...

The 26th Asia and South Pacific Design Automation Conference (ASP-DAC)が1/18から1/21にオンライン開催されます。この会議は、...