学会発表

AVS ALD/ALE 2020が6/29から7/1にバーチャルで開催されます。この国際会議では、原子層堆積法(ALD)と原子層エッチング法(ALE)に特化した研究発表および議論がおこなわれます。 東...

SPIE Advanced Lithography が、2/23から27にアメリカ合衆国のサンノゼで開催されます。光学リソグラフィ、計測手法、そしてEUVリソグラフィに注目した会議プログラムが組まれて...

IEEE International Electron Devices Meeting(IEDM)が、12/7から11にアメリカ合衆国のサンフランシスコで開催されます。 IEDMは半導体や電子デバイス...

第41回のInternational Symposium on Dry Process (DPS2019)が、11/21から11/22に広島で開催されます。 プラズマ・エッチング、プラズマ成膜、プラズ...

第64回のAnnual Conference on Magnetism and Magnetic Materials (MMM) が、11/4から8にアメリカ合衆国のラスベガスで開催されます。 この会...