学会発表

SEMICON Chinaに先立ち、China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC）2019が3/18から3/19に上海で...

さまざまな学問分野に関して活発な議論がおこなわれる応用物理学会が、3/9から3/12にかけて日本で開催されます。 東京エレクトロン(TEL)からは、最先端の半導体加工技術の動向と将来展望について、基調...

デバイスの微細化に対して重要な技術の一つであるリソグラフィに特化した国際学会SPIE. ADVANCED LITHOGRAPHY 2019が2/24から2/28にアメリカで開催されます。この学会では、...

　11/13から11/15にかけて、DPS2018が日本で開催されます。DPSは毎年日本で開催される国際学会で、プラズマエッチングおよび堆積プロセスを中心にプラズマ関連の議論がおこなわれます。 　エッ...

　半導体生産技術に特化した国際会議「ISSM2018」が、12/10から12/11にかけて日本で開催されます。ISSMは「ノウハウをサイエンスに」を合言葉に、新たな生産技術の創出や生産技術のサイエンス...