製品における取り組み

持続可能な社会に貢献する製品

当社では、バリューチェーンにおける CO 2総排出量のうち、製品使用時のCO 2排出量が90%を占めています。そのため、環境に配慮した製品設計を推進することが企業活動において重要と考え、製品の省エネルギー化に取り組んでいます。TEL は、2019 年度に各ビジネスユニット(BU)の代表機種において、「ウェーハ1 枚当たりのCO 2排出量を2030年度までに30%削減する(2013 年度比)」という中期環境目標を設定しました。さらに、この中期環境目標を達成するために、中間目標として「各BU の代表機種でウェーハ1 枚当たりのCO2排出量2024年度までに20% 削減(2013 年度比)」を制定し、具体的な活動を推進しています。2019 年度は、この目標達成に向けた主要機種のロードマップ策定や、従来のエネルギーや水に加え、プロセスガスや化学物質の使用量、製品の設置面積・体積・重量、パーツのメンテナンス頻度軽減や長寿命化、さらには装置立ち上げ期間の短縮なども含めたCO2 排出量算定のガイドラインを策定しました。このガイドラインに基づき算定した2019 年度出荷装置のCO2 排出量は、基準装置と比較して16%の削減となりました。また、中長期環境目標の達成に向けて、環境技術戦略の検討も始めました。環境意識のさらなる向上に努め、技術戦略における重要な付加価値として環境技術を継続的に取り入れていきます。今後も中長期環境目標の達成に向けて、さらに活動を推進していきます。


物流における取り組み

物流についての考え方

気候変動、地球温暖化といった地球規模の環境問題の観点から、物流に対する規制が強化され、環境負荷低減の要求が高まっています。当社は、物流における環境負荷低減に向けた活動を推進しています。

CO2排出量削減に向けた取り組み

国内における物流は、省エネルギー法における規制範囲のCO2排出量を、海外での物流は、当社内物流およびお客さま向け製品物流における範囲のCO2排出量をそれぞれ計算・把握しています。

当社は、モーダルシフト*による環境負荷の少ない輸送への切り替えを実施しています。海外向け輸送については、半導体製造装置の一部およびフラットパネルディスプレイ(FPD)製造装置について海運を実施する他、空運から海運への切り替えを進めるため、工期の短縮にも積極的に取り組んでいます。また、FPD製造装置の出荷で用いてきた棚式台車を半導体製造装置の出荷にも取り入れ、トラックの積載率向上によるCO2排出量およびコスト削減に取り組んでいます。

2019年度のCO2排出量は186千tと、2018年度と比較して大幅に増加しました。これは、2018年度と比べ製品出荷量が増加したことによるものです。

* モーダルシフト:輸送手段の転換を図ること。自動車や航空機による輸送から、より環境負荷の低い鉄道や船舶による輸送に転換することをいう

省資源に向けた取り組み

当社の製品は、精密さおよび輸送時の清浄度を要求されるため、出荷時の梱包材として、木枠やダンボールなどを使用します。梱包材には省資源化のため、一部の国内輸送において、再利用可能なダンボールを梱包材として採用しています。また、製品の移動時に使用する搬送用キャスター類や専用治具は、回収して当社工場に持ち帰り再利用するなど、さまざまな手段で省資源化に取り組んでいます。

製品のリユース・リサイクル

IoT時代の到来により半導体は、その需要もさることながら種類も多岐にわたっています。それに伴い半導体製造装置も多種多様な機種が求められる時代となってきました。当社は、半導体製造装置メーカーとしての強みを生かした自社中古装置の販売や納入済み装置の改造サービスを通じて、装置やパーツのリユースやリサイクルを推進しています。

中古装置の販売においては、自社独自またはリース会社との協業により、市場から中古装置を調達し、必要な検査や調整を行った上で当社認定装置として提供しています。改造サービスにおいては、お客さまがご使用中の装置に品質の維持向上や稼動率改善などを目的とした改造を施すことにより、装置の生産性向上を実現しています。このように、費用やスピード、性能面でお客さまの期待に応えていくとともに、廃棄物削減や資源の低減・有効活用にも貢献しています。また、これらの取り組みは、装置やパーツの調達、ならびに製造にかかる資源やCO2を削減するだけでなく、生産・流通・廃棄コストの削減にも効果を上げています。