製品における取り組み

持続可能な社会に貢献する製品

東京エレクトロンでは、GHGプロトコル*1に基づく原材料調達、製造、輸送、使用、廃棄などのバリューチェーンにおけるCO2排出量のうち、製品使用時のCO2排出量が全体の90%を占めています。そのため、環境に配慮した製品設計を推進することが企業活動において重要と考え、製品使用時の環境負荷を低減すべく、製品の省エネルギー化に取り組んでいます。2014年度に設定した「エネルギーおよび純水の使用量を、2018年度までに2013年度比で10%削減する」という目標に向けて、エネルギー使用量の削減や、スループットの向上に努めています。2015年度に目標を達成した「Triase+™ EX-II™ TiN Plus」に続き、2016年度は「ウェーハプローバ Precio™ XL」「ガスケミカルエッチング装置Certas LEAGA™」「コータ/ デベロッパ CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro™ Z」の各種装置において、予定より早い目標値の達成となりました。また、省エネルギーモデル*2の売上比率も上昇し、2016年度は93.9%となりました。

さらなる環境負荷低減を実現するためには、装置だけでなく、周辺機器や関連設備、ひいてはお客さまにおける工場運用まで考慮する必要があると考えています。今後は、装置システムの効率的な運用と、お客さまの工場全体の省エネルギー運用の重要度が増していくと見込まれる中、当社はエネルギーのモニタリングと制御に注力して活動を進めていく方針です。また、半導体業界においてエネルギー評価の標準とされているSEMI S23においても、これらの重要性をアピールしていきます。

目標達成に向け、新たな技術開発、さらなるエネルギー・水・化学物質の削減を推進するとともに、温暖化ガス対策にも積極的に取り組み、環境にやさしいものづくりを進めてまいります。

*1 GHGプロトコロル: 温室効果ガス(Greenhouse Gas: GHG) 排出量の算定と報告の基準のこと
*2 自社基準による

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* 昨年度報告書からの変更点:対象装置を見直し数値を更新しています

物流における取り組み

物流についての考え方

気候変動、地球温暖化といった地球規模の環境問題の観点から、物流に対する規制が強化され、環境負荷低減の要求が高まっています。当社は、物流における環境負荷低減に向けた活動を推進しています。

CO2排出量削減に向けた取り組み

国内における物流は、省エネルギー法における規制範囲のCO2排出量を、海外での物流は、当社内物流およびお客さま向け製品物流における範囲のCO2排出量をそれぞれ計算・把握しています。

当社は、モーダルシフト*による環境負荷の少ない輸送への切り替えを実施しています。海外向け輸送については、半導体製造装置の一部およびフラットパネルディスプレイ(FPD)製造装置について海運を実施する他、空運から海運への切り替えを進めるため、工期の短縮にも積極的に取り組んでいます。また、FPD製造装置の出荷で用いてきた棚式台車を半導体製造装置の出荷にも取り入れ、トラックの積載率向上によるCO2排出量およびコスト削減に取り組んでいます。

2016年度のCO2排出量は97千tと、2015年度と比較して大幅に増加しました。これは、2015年度と比べ製品出荷量が増加したことによるものです。

* モーダルシフト:輸送手段の転換を図ること。自動車や航空機による輸送から、より環境負荷の低い鉄道や船舶による輸送に転換することをいう

省資源に向けた取り組み

当社の製品は、精密さおよび輸送時の清浄度を要求されるため、出荷時の梱包材として、木枠やダンボールなどを使用します。梱包材には省資源化のため、一部の国内輸送において、再利用可能なダンボールを梱包材として採用しています。また、製品の移動時に使用する搬送用キャスター類や専用治具は、回収して当社工場に持ち帰り再利用するなど、さまざまな手段で省資源化に取り組んでいます。

製品のリユース・リサイクル

IoT時代の到来により半導体は、その需要もさることながら種類も多岐にわたっています。それに伴い半導体製造装置も多種多様な機種が求められる時代となってきました。当社は、半導体製造装置メーカーとしての強みを生かした自社中古装置の販売や納入済み装置の改造サービスを通じて、装置やパーツのリユースやリサイクルを推進しています。

中古装置の販売においては、自社独自またはリース会社との協業により、市場から中古装置を調達し、必要な検査や調整を行った上で当社認定装置として提供しています。改造サービスにおいては、お客さまがご使用中の装置に品質の維持向上や稼動率改善などを目的とした改造を施すことにより、装置の生産性向上を実現しています。このように、費用やスピード、性能面でお客さまの期待に応えていくとともに、廃棄物削減や資源の低減・有効活用にも貢献しています。また、これらの取り組みは、装置やパーツの調達、ならびに製造にかかる資源やCO2を削減するだけでなく、生産・流通・廃棄コストの削減にも効果を上げています。